標準編號:	GB/T 14139-2009
中文名稱:	硅外延片
英文名稱:	Silicon epitaxial wafers
中標分類:	H80    半金屬與半導體材料綜合
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	29.045 29.045    半導體材料 29.045
發布機構:	中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期:	2009-10-30
實施日期:	2010-6-1
標準狀態:	superseded
被新標準替代:	GB/T 14139-2019 硅外延片
被替代日期:	2020-5-1
作廢日期:	2020-05-01
替代舊標準:	GB/T 14139-1993 硅外延片
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	10000 字
翻譯價格(元):	600.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規則及標志、包裝運輸、貯存等。
本標準適用于在Ｎ 型硅拋光片襯底上生長的ｎ型外延層（Ｎ／Ｎ＋ ）和在ｐ型硅拋光片襯底上生長的Ｐ型外延層（Ｐ／Ｐ＋ ）的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。