標準編號:	GB/T 14139-1993
中文名稱:	硅外延片
英文名稱:	Silicon epitaxial wafers
中標分類:	H81    半金屬
行業分類:	GB    國家標準
發布機構:	國家技術監督局
發布日期:	1993-02-06
實施日期:	1993-10-1
標準狀態:	superseded
被新標準替代:	GB/T 14139-2009 硅外延片
被替代日期:	2010-6-1
作廢日期:	2010-06-01
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	7000 字
翻譯價格(元):	1040.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規則及標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于在N型硅拋光片襯底上生長的N型外延層(N/N+)和在P型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+)的同質硅外延片。產品用于制作半導體器件。