標(biāo)準(zhǔn)編號:	GB/T 4061-2009
中文名稱:	硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗方法
英文名稱:	Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
中標(biāo)分類:	H80    半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
行業(yè)分類:	GB    國家標(biāo)準(zhǔn)
ICS分類:	29.045 29.045    半導(dǎo)體材料 29.045
發(fā)布機(jī)構(gòu):	中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
發(fā)布日期:	2009-10-30
實施日期:	2010-6-1
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):	valid
替代舊標(biāo)準(zhǔn):	GB/T 4061-1983
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數(shù):	6000 字
翻譯價格(元):	800.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以三氯氫硅和四氯化硅為原料在還原爐內(nèi)用氫氣還原出的硅多晶棒的斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗方法。
本標(biāo)準(zhǔn)關(guān)于斷面夾層的檢驗適用于以三氯氫硅和四氯化硅為原料,以細(xì)硅芯為發(fā)熱體,在還原爐內(nèi)用氫氣還原沉積生長出來的硅多晶棒。