標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):	GB/T 34177-2017
中文名稱:	光刻用石英玻璃晶圓
英文名稱:	Quartz glass wafer for lithography
中標(biāo)分類:	Q35    石英玻璃
行業(yè)分類:	GB    國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
ICS分類:	81.040.30 81.040.30    玻璃產(chǎn)品 81.040.30
發(fā)布機(jī)構(gòu):	中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
發(fā)布日期:	2017-09-07
實(shí)施日期:	2018-8-1
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):	valid
翻譯語(yǔ)言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數(shù):	15000 字
翻譯價(jià)格(元):	900.0
交付時(shí)間:	付款后 1~3 個(gè)工作日

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光刻用石英玻璃晶圓（以下簡(jiǎn)稱石英玻璃晶圓)的術(shù)語(yǔ)和定義、分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管（LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。