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GB/T 30652-2023   硅外延用三氯氫硅 (英文版)
標準編號: GB/T 30652-2023 標準狀態:valid 訂閱狀態變動提醒
譯文語言:英文 文件格式:PDF
中文字符數: 11000 字 翻譯價格(元):770.0 訂閱價格變動提醒
實施日期:2024-3-1 交付時間: 付款后 1~3 個工作日
標準編號: GB/T 30652-2023
中文名稱: 硅外延用三氯氫硅
英文名稱: Trichlorosilane for silicon epitaxial
中標分類: H83    化合物半導體材料
行業分類: GB    國家標準
ICS分類: 29.040 29.040    絕緣流體 29.040
發布機構: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
發布日期: 2023-08-06
實施日期: 2024-3-1
標準狀態: valid
替代舊標準:GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氫硅
翻譯語言: 英文
文件格式: PDF
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