標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):	GB/T 16596-1996
中文名稱:	確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范
英文名稱:	Specification for establishing a wafer coordinate system
中標(biāo)分類:	H21    金屬物理性能試驗(yàn)方法
行業(yè)分類:	GB    國家標(biāo)準(zhǔn)
ICS分類:	29.045 29.045    半導(dǎo)體材料 29.045
發(fā)布機(jī)構(gòu):	國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期:	1996-1-1
實(shí)施日期:	1997-4-1
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):	superseded
被新標(biāo)準(zhǔn)替代:	GB/T 16596-2019 確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范
被替代日期:	2020-2-1
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數(shù):	5000 字
翻譯價(jià)格(元):	600.0
交付時(shí)間:	付款后 1~3 個(gè)工作日

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用晶片中心作為極坐標(biāo)或直角坐標(biāo)的原點(diǎn)，可用于確定晶片上任意一點(diǎn)位置的晶片坐標(biāo)系。