標準編號:	GB/T 1558-2023
中文名稱:	硅中代位碳含量的紅外吸收測試方法
英文名稱:	Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
中標分類:	H17    半金屬及半導體材料分析方法
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	77.040 77.040    金屬材料試驗 77.040
發布機構:	國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
發布日期:	2023-12-28
實施日期:	2024-7-1
標準狀態:	to be valid
替代舊標準:	GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 紅外吸收測量方法
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	11000 字
翻譯價格(元):	770.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本文件描述了硅中代位碳原子含量的紅外吸收測試方法。
本文件適用于電阻率大于3 Ω?cm的p型硅單晶片及電阻率大于1 Ω?cm的n型硅單晶片中代位碳原子含量的測試(室溫下測試范圍：5×1015 cm-3至硅中碳原子的最大固溶度；溫度低于80 K時測試范圍：不小于5×1014 cm-3)。