標準編號:	GB/T 14602-1993
中文名稱:	電子工業用氣體 氯化氫
英文名稱:	for electronic industry. Hydrogen chloride
中標分類:	G86    工業氣體與化學氣體
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	71.100.20 71.100.20    工業氣體 71.100.20
發布機構:	國家質量技術監督局
發布日期:	1993-8-26
實施日期:	1994-7-1
標準狀態:	superseded
被新標準替代:	GB/T 14602-2014 電子工業用氣體 氯化氫
被替代日期:	2015-7-1
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	5000 字
翻譯價格(元):	700.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以氫、氯為原料合成的氯化氫和以工業氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液態氯化氫。氯化氫主要用于電子工業，在集成電路生產中用于蝕刻、鈍化、外延等工藝。也可用于金屬冶煉、光導通訊和科學研究等領域。