標準編號:	GB/T 14601-1993
中文名稱:	電子工業用氣體 高純氨
英文名稱:	Gases for electronic industry. High purity ammonia
中標分類:	G86    工業氣體與化學氣體
行業分類:	GB    國家標準
ICS分類:	71.100.20 71.100.20    工業氣體 71.100.20
發布機構:	國家技術監督局
發布日期:	1993-08-26
實施日期:	1994-7-1
標準狀態:	superseded
被新標準替代:	GB/T 14601-2009 電子工業用氣體 氨
被替代日期:	2010-5-1
作廢日期:	2010-05-01
翻譯語言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符數:	4000 字
翻譯價格(元):	720.0
交付時間:	付款后 1~3 個工作日

本標準規定了電子工業用氣體高純氨的技術要求，試驗方法，檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。本標準適用于瓶裝高純氨。該產品主要用于半導體工業，氮化硅的化學氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。